第230章 鸡蛋清引发的良品率问题

  周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前,注视一块高纯度硅锭被送入切割台上
  硅片厂生产线还没有投产,眼前的硅锭是从沪江运送过来,用于试生产的,
  随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下,硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆
  这些晶圆将被送往下一个车间,进行打磨和抛光
  接下来就是光刻工序,也是整个制造过程中最核心的环节
  姜明尚皱眉道:“前几道工序都没问题,但光刻车间的良品率始终上不去
  我研究了几天,始终没找到问题所在”
  周博笑道:“万事开头难,gk-1是第一台光刻机,有问题很正常,没问题才奇怪”
  两人一边说着,一边来到光刻车间
  车间中央横置着一台庞然大物——gk-1干式光刻机,几名技术人员正围在操作台前
  “怎么回事,又是图案粘连!”一名技术人员苦恼道
  “会不会是光刻胶有问题?”
  “不应该,都是一样的调配流程,在沪江好用,到了粤州就出问题?
  没道理呀!”
  “是呀,真特么见鬼了!”
  “原来的流水线不是挺好吗,一做成整机就出问题,自找麻烦!”有人抱怨道
  “整机在沪江测试过,也没问题呀!”
  “到底怎么回事呢?”
  众人议论纷纷,看到周博和姜明尚走过来,立刻向二人打招呼
  “周总工,姜总工!”
  都是电子厂的老人,还是习惯用以前的称呼
  姜明尚问道:“怎么样,这次良品率多少?”
  “10片芯片,只有1片能用,其他全部出现图案粘连现象!”
  10%!
  这良品率实在有点可怜
  周博也皱起眉头
  光刻机在沪江时测试过的,怎么到了粤州就水土不服?
  “给我看看!”
  一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来
  周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来
  镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团
  这就是所谓图案粘连
  看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前
  暗暗在脑海中发出指令
  “分析gk-1光刻机···”
  【叮!】
  【系统分析开始···】
  【光刻机型号:gk-1】
  【分析结果如下:】
  【1.光源系统正常
  2.对准与调焦系统正常
  3.双工件台系统正常
  4.掩模输运与定位系统正常···】
  系统分析完毕,光刻机一切正常
  周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?
  系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了
  “大家有什么看法!”周博先询问众人的意见
  姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题
  但是又查不出来!”
  周博点点头
  现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的
  一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题
  之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低
  要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案
  想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”
  “好!”
  随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序
  光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上
  在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案
  周博出神地注视着光刻机,思维跟着工序流程快速思考
  是振动问题?
  空气洁净度不够?
  热胀冷缩?
  脑海中不时蹦出一个个想法,但又随即否定···
  半个小时后,光刻工序完成,几块芯片新鲜出炉
  随即拿到显微镜下一看,还是图案粘连!
  姜明尚苦笑:“真是活见鬼了!”
  此时,周博拿着一块芯片左右端详,眼神渐渐明亮起来
  “姜工,我觉得你的猜测是对的,应该还是光刻胶的问题!”
  周博语气笃定地说道
  “可是配置流程是完全相同呀!”
  “我知道,流程一样,但成分可能不一样”
  “你是说蛋清成分不一样?”姜明尚脸色表情有些古怪
  这也太扯了!
  周博点点头,笑道:“这粤州鸡和沪江鸡饮食不同,生活环境也不同,蛋清有差别很正常!”
  众人听完这一番解释,都有些哭笑不得
  “那应该怎么办,从沪江运鸡蛋过来?”
  这事想想就有点搞笑!
  “不必,我有办法,去弄一下草酸盐来!”
  “草酸盐?做抗凝剂吗?”姜明尚诧异道
  “没错,你反应真是快!”
  “行,马上去搞一些草酸盐!”
  事情总算有了头绪,众人兴奋不已
  随即,派人却去粤州城内买到了草酸盐,然后重新用筛网过滤蛋清,剔除杂质,调配光刻胶
  接着,重新涂刷新配光刻胶,然后再次进行光刻工序
  这一批芯片完成时,时间已经是深夜
  但一群人没有一点困倦的表情,个个精神抖擞
  芯片下线后,姜明尚抢过一片就来到显微镜前
  显微镜下,一条条电路线竟清晰如刀刻
  姜明尚激动不已,“这片好的,换一片!”
  “这片也合格!”
  “这片有问题,再换一片!”
  “合格!”
  “合格···”
  这一批次芯片,良品率达到了70%
  众人顿时欢呼起来,几个技术员兴奋地把周博抱起,抛向空中
  “行了,行了,放我下来吧!”
  被众人放下后,周博也非常兴奋
  芯片制造是高精密,高度复杂的过程,即便在后世,很多国际大厂也经常被良品率的问题困扰
  这次能顺利解决,也给了周博很大信心
  “到底是什么原因呀?”众人好奇地问道
  周博笑了笑,“因为鸡蛋清成分的细微差别,以及气温、湿度等差异,蛋清中的蛋白质分子在显影时形成胶体团,堵塞电路间隙
  加入抗凝剂后,胶体团无法凝结,自然就解决了!”
  d4dd4d

上一章目录+书签下一章